专业从事离子液体的合成、应用及其相关技术的研究工作----Lanzhou Greenchem ILs/青岛奥立科

在半导体制造行业中，很多工艺方法，如掺杂、蚀刻和薄膜沉积等，都要使用许多危险的专用气体，如PH3、As3H 和BF3。这些气体因其高毒性和自燃性而对安全和环境产生极大威胁。此外，这些有害气体被高压压缩和液化并存储在钢瓶中，极易发生泄漏或钢瓶突然破裂，因此这些气体的存储与使用安全性变得尤为重要。为缓解这些安全隐患，可以采取就地造气或将气体吸附于固体载体的低压储存和输送措施，但是随之而来的是就地造气的困难和容量及输送限额不足、热传导性不良等问题。

美国气体产品与化学公司（Air Products & Chemicals）的研究人员进行的一项研究结果表明，离子液体有助于降低存储和运输有毒活性高压气体的危险。这项研究显示离子液体可以与大量有毒物质，比如PH3 和BF3，形成可逆配合物，同时保持离子液体的低蒸气压特性。相比于固体载体吸附体系，离子液体作为一种液体载体其极好的热传导性能足以保证这些气体的存储和输送变得方便而快捷。这项技术利用离子液体酸碱性可调的特质，通过离子液体与被存储气体之间的Lewis 酸/Lewis 碱相互作用，在低压下实现了高容量存储。

离子液体存储气体原理

当需要使用这些气体时，用户仅需要升温或抽真空，操作非常简单。Air Products 已将这项全新的技术以Gasguard® Sub-Atmospheric System， Complexed Gas Technology （CGT）投放市场。